У поређењу са традиционалном оптичком инспекцијом (АОИ) и ручном визуелном инспекцијом, 3Д Кс-опрема за инспекцију има следеће главне предности:
1. Широка применљивост: Погодно за различите комбинације материјала и структура, посебно погодно за производњу електронике високе{1}}густине и високе-сложености.
2. Висока тачност инспекције: Може јасно приказати ситне дефекте и структурне информације унутар електронских компоненти.
3. Не-тестирање без разарања: Инспекција се врши без оштећења производа, избегавајући отпад и губитке изазване инспекцијом.
4. Велика брзина инспекције: Са сталним технолошким напретком, брзина инспекције 3Д Кс-опреме за инспекцију постаје све бржа, испуњавајући захтеве високе-ефикасне производње.